Vakuumtisch aus Aluminium-Wabenstruktur
● Vakuumtisch aus Flugzeugaluminium-Wabenkonstruktion mit garantierter Flachheit von weniger als 0,2 mm
● Der Vakuumtisch bietet eine stabile und ebene Arbeitsfläche und sorgt so für optimale Genauigkeit und Wiederholbarkeit
Beschreibung
Der Aluminiumwaben-Vakuumtisch ist eine innovative und hochwirksame Lösung für die präzise und stabile Positionierung von Materialien in einer Vakuumumgebung. Der Vakuumtisch besteht aus einer leichten Aluminiumwabenstruktur, die hervorragende Steifigkeit und Haltbarkeit bei minimalem Gewicht bietet.
Spezifikation
| maximale Größe (mm) | 4000x2100 | Dicke (mm) | 25, 35,5, 42,5, 53,5 |
| Abschnittsloch(mm) | 1, 1,5, 2 | Abschnittslochabstand(mm) | 15, 20 |
| Plattenmaterial | Legiertes Aluminium | Schnittstellenmodus | Flansch, Schraube |
| Dicke der oberen Platte(mm) | 2 | Dicke des Bodenblechs(mm) | 23 |
| Lufteintritt | F 30, F 40, F 50 | Ebenheit(mm) | < 0,20 |
| Oberflächenveredelung | Harte Oxidation,Mühlenfinish, Fluorkohlenstoffbeschichtung | Wabenkern | kreuzgebohrt |
Besonderheit
Hohes Verhältnis von Festigkeit zu Gewicht
Dies macht es zu einer idealen Plattform für Präzisionsschneide- und Graviermaschinen, CNC-Fräsmaschinen und andere ähnliche Anwendungen
Hohe Steifigkeit
Der Vakuumtisch bietet eine stabile und ebene Arbeitsfläche und sorgt so für optimale Genauigkeit und Wiederholbarkeit
Große Oberfläche mit hoher Ebenheit
Die maximale Größe beträgt 2100 x 3950 mm (bei Überschreitung muss gespleißt werden), mit ausgezeichneter Ebenheit und Durchbiegung von 10–20 Drähten. Der Durchbiegungswert beträgt weniger als 10 Drähte bei einer zusätzlichen Kraft von 30 kg.
Tolle Druckverteilung
Es sorgt für einen gleichmäßigen und stabilen Luftstrom, was zu einer gleichmäßigen Druckverteilung auf der Oberfläche und einer äußerst stabilen Plattform zum Halten von Materialien führt.
Anwendung
Aufgrund seiner überlegenen Qualität und Vielseitigkeit wird der Waben-Vakuumtisch aus Aluminium in einer Reihe von Branchen eingesetzt, darunter in der Halbleiterfertigung, der Gravierindustrie, der Elektronik- und MEMS-Produktion.
In der Halbleiterfertigung wird der Vakuumtisch zum Waferbonden, für die Dünnschichtabscheidung und für Ausrichtungsprozesse verwendet.
In der MEMS-Produktion wird ein Vakuumtisch für Bond- und Strukturierungsprozesse verwendet.
